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    用于批量合成復合材料的激光沉積設備

    964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:08:04
    本發明提供一種用于批量合成復合材料的激光沉積設備，包括激光源、驅動機構、第一反射鏡、第二反射鏡、真空室、至少兩個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積復合材料的基片；所述第一固定平臺以及所述基片均設置于所述真空室內，所述至少兩個第一固定平臺分別與所述基片的預設區域相對，所述真空室設置有通光部，所述第二反射鏡與所述第一反射鏡平行，所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預設夾角；所述驅動機構與所述第二反射鏡連接，以驅動所述第二反射鏡沿著垂直于所述激光源的出光方向的方向移動至對應位置，所述第一反射鏡用于將所述激光源發出的激光反射對應位置的所述第二反射鏡。
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