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    基于可見光的復合材料沉積系統

    1127   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:12:02
    本發明提供了一種基于可見光的復合材料沉積系統，其包括激光源、至少兩個升降機構、至少兩個第一反射鏡、真空室、至少兩個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積復合材料的基片；所述第一固定平臺以及基片均設置于所述真空室內，所述至少兩個第一固定平臺分別與所述基片的預設區域相對，所述真空室設置有通光部，所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預設夾角；所述至少兩個升降機構分別與所述至少兩個第一反射鏡一一對應地連接，所述至少三個第一反射鏡分別與所述至少兩個第一固定平臺對應，所述升降機構用于調整對應所述第一反射鏡的高度。
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    聲明：
    “基于可見光的復合材料沉積系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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