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    表面等離子體納米復合材料及其制備方法

    1158   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:13:03
    本發明提供一種表面等離子體納米復合材料及其制備方法，包括基體材料，在基體材料表面濺射沉積金屬鈦薄膜，在金屬鈦薄膜表面濺射沉積鋁銅合金薄膜，采用四氯化碳氣相刻蝕的方法去除鋁銅合金薄膜中的金屬鋁得到納米多孔銅薄膜，在納米多孔銅薄膜表面濺射沉積氮化鈦薄膜，本發明提供了一種表面等離子體納米復合材料及其制備方法，其目的在于克服現有技術中的成本高的缺陷，其制備方法簡單、成本低、與硅氣相工藝兼容。
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    聲明：
    “表面等離子體納米復合材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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