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    化學氣相沉積/滲透裝置和制備陶瓷基復合材料的方法

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:14:03
    本發明提供了一種化學氣相沉積/滲透裝置和制備陶瓷基復合材料的方法，屬于功能材料制備技術領域。本發明中裝置包括前驅體輸運系統和反應爐，所述前驅體輸運系統包括并聯設置的氣態前驅體輸運系統和液態前驅體輸運系統。本發明通過并聯設置氣態前驅體輸運系統和液態前驅體輸運系統，實現氣態前驅體和液態前驅體的輸運，采用第I氣體計量裝置調控氣態前驅體輸運通道中氣態前驅體、載氣和稀釋氣的流量，液態前驅體先通過液體計量裝置調控流量后再加熱汽化通入反應爐(采用第II氣體計量裝置調控液態前驅體輸運通道中載氣和稀釋氣的流量)，液態前驅體可以精確調控，操作方便，最終可以實現具有不同界面相以及不同基體的陶瓷基復合材料的高效制備。
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