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    平面往復運動噴射沉積多層復合材料的制備設備

    911   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:14:04
    一種平面往復運動噴射沉積多層復合材料的制備設備,包括:真空爐體和處于真空爐體內的沉積基板升降機構、沉積基板、低溫惰性氣體強制冷卻裝置、惰性氣體噴射加壓裝置、保護氣體進氣閥、坩堝噴槍組、感應加熱裝置、水平往復運動導板及處于真空爐體上的抽真空裝置、排氣閥、進氣閥。沉積基板處于水平往復運動導板上。沉積基板升降機構與水平往復運動導板連接。坩堝噴槍組位于沉積基板上方,與惰性氣體噴射加壓裝置和感應加熱裝置連接。低溫惰性氣體強制冷卻裝置位于沉積基板的上方。沉積基板位于水平往復運動導板上。本實用新型可以將多種金屬及合金,通過熔煉,噴射制備成大塊層狀復合材料,通過強制冷卻,可以獲得大塊沉積多層堆積的非晶、納米晶金屬材料。
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