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    石墨烯-二硫化鎢復合材料的氣體傳感器及制備方法

    1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:15:03
    本發明公開了一種石墨烯?二硫化鎢復合材料的氣體傳感器，自下而上依次包括硅基底層、二氧化硅絕緣層、電極層、石墨烯層和二硫化鎢層，所述二氧化硅絕緣層覆蓋于硅基底層上表面，所述電極層設置于二氧化硅絕緣層表面，所述電極層包括插齒電極和大電極，所述大電極位于插齒電極的兩端，所述石墨烯層為單層石墨烯，覆蓋于插齒電極表面，所述二硫化鎢層的厚度小于10nm，設置于石墨烯層表面。本發明將石墨烯與二硫化鎢進行復合，形成的復合材料作為氣敏材料，二硫化鎢彌補了石墨烯帶隙為零的不足，石墨烯則彌補了二硫化鎢吸附氣體后，進行電學測試易造成層狀堆疊的不足，兩種材料優勢互補提高傳感器靈敏度。
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