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    多種聚合物復合材料電熱微驅動器

    806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:15:04
    一種多種聚合物復合材料電熱微驅動器,屬于微機電系統技術領域。本發明包括:基座支撐結構、引線電極、功能膨脹層、應力控制層;應力控制層位于功能膨脹層下方,形成雙層結構;功能膨脹層是SU-8膠包裹發熱電阻絲構成的復合結構;引線電極與發熱電阻絲相連,置于應力控制層上;基座支撐結構上有金屬柱陣列,能增強與應力控制層的結合力。本發明的雙層結構的伸長端即懸臂梁,是驅動的核心部件,受熱產生翹曲,恢復到室溫時基本保持平直;作為一個具體實例,發熱電阻絲條寬15微米,厚度3微米,功能膨脹層厚度10微米,應力控制層厚度10微米,仿真計算得到輸入功率為20MW,10MS后懸臂梁驅動位移達到約80微米。
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