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    晶型金剛石摻氮半導體復合材料及其制備方法

    1169   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:21:02
    本發明公開了一種摻氮晶型金剛石半導體材料，屬于金剛石半導體領域。其中，所述摻氮晶型金剛石半導體復合材料包括以高溫高壓法制得的IIa型金剛石晶體作為襯底材料，以CH4、Ar和NH3作為氣體源，在襯底材料上生長出的摻氮晶型金剛石。本發明進一步公開了制備所述摻氮晶型金剛石半導體材料的方法。利用本發明制備的摻氮晶型金剛石半導體材料，具有較好的電學性能和半導體性能，可以推動金剛石半導體器件的發展，也將有助于金剛石基半導體器件的產業化發展。
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    復合材料
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