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    碳/碳復合材料表面高溫抗氧化SiC/ZrC涂層的制備方法

    1142   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:30:03
    本發明提供一種碳/碳復合材料表面高溫抗氧化SiC/ZrC涂層的制備方法，包括如下步驟：送樣步驟：將放置有試樣的樣品臺傳送到濺射室，對濺射室進行抽真空；主轟擊步驟：向濺射室內充入氬氣，在Si靶、Zr靶和C靶加電壓和電流進行轟擊；鍍膜步驟：開啟控制Si靶和C靶的直流電源經濺射并沉積后制備滿足化學計量比的SiC層，然后開啟控制Si靶和C靶的直流電源經濺射并沉積后制備滿足化學計量比的ZrC層；然后再依次按照上述步驟沉積SiC層、ZrC層，經多次濺射并沉積后，完成鍍膜。通過該方法制備的SiC/ZrC涂層有效防止由于其熱膨脹系數過大而形成的過多的裂紋，操作工藝簡便、涂層結構簡單、易于工業化生產。
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    “碳/碳復合材料表面高溫抗氧化SiC/ZrC涂層的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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