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    用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室

    705   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 16:31:01
    本實用新型涉及一種用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室,包括主沉積室和多個分隔組件;主沉積室包括吊裝底板,吊裝底板上設置有4個支撐方柱安裝孔,每個安裝孔內安裝一根支撐方柱,支撐方柱的頂部安裝橫梁,四塊沉積室側板安裝在支撐方柱的外側,蓋板放置在橫梁的上方,吊裝底板、支撐方柱、橫梁、沉積室側板及蓋板形成沉積腔;多條插槽板平行安裝在沉積腔內的吊裝底板上,插槽板上均勻設置插槽,插槽板的兩端設置固定孔;所述的分隔組件包括兩根隔條和連接兩根隔條的連接繩。本申請結構合理、制作簡單,可整體吊裝、操作方便,可擺放大尺寸板材,板材變形小、沉積氣氛流暢、無無效沉積面積,板材沉積表面均勻致密。
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    “用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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