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    用于制備大尺寸C/C復合材料的CVD沉積爐裝置

    1183   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:32:03
    本實用新型公開一種用于制備大尺寸C/C復合材料的CVD沉積爐裝置，包括爐體，爐體內部固定設置有分流板，分流板將爐體內部分為混氣室和沉積室，沉積室設置在混氣室上方；進氣組件包括進氣嘴，進氣嘴包括固定板以及固定設置在固定板一側的若干組螺旋片，相鄰兩組螺旋片之間設置有螺旋通道，固定板的中部開設有進氣口，進氣口連接有進氣管，進氣口與螺旋通道連通。本實用新型通過螺旋狀結構的進氣嘴對工藝氣體進行氣體擾動，提高擴散到混氣室工藝氣體的均勻性，提高后期擴散到沉積室的均勻性。
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