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    硅碳氮吸波陶瓷基復合材料的制備方法

    1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:35:02
    本發明涉及一種硅碳氮吸波陶瓷基復合材料的制備方法，經CVD/CVI技術，在適合的溫度范圍內，采用SiCl4、SiHCl3或其它氯硅化物、硅烷作為硅源，CH4、C3H6、C2H2或其它烷烴、烯烴、炔烴作為碳源，NH3或N2作為氮源，H2作為載氣與反應氣體，Ar作為稀釋氣體，在基底材料上原位合成SiCN，獲得了均勻致密、無雜質、組分和吸波性能可設計的SiCN基體和涂層。本發明克服現有技術制備CFCC-SiC吸波性能不高的不足，同時便于實現所制備的吸波基體的組分、滲透性、厚度以及吸波性能的控制。
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    “硅碳氮吸波陶瓷基復合材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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