本實用新型涉及一種炭炭復合材料氣相沉積爐用旋轉裝置,其特征在于,包括中心套管,中心套管的頂部通過固定軸承安裝被動大齒輪,中心套管底部插裝在爐底中心固定套內,爐底中心固定套的側壁上設置有側進氣管;進氣管插入中心套管并與爐底中心固定套連接;所述的被動大齒輪與安裝在驅動軸端部的主動小齒輪咬合,驅動軸與電機連接;所述的被動大齒輪的頂面安裝托板,托板的頂面安裝墊墩,墊墩頂面安裝隔熱墊。本申請具有結構合理、簡單,操作使用簡便,沉積室內溫度更加均勻,有利于沉積等優點。
聲明:
“炭炭復合材料氣相沉積爐用旋轉裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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