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    高吸收、寬光譜黑硅復合材料及其制備方法

    1212   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:37:03
    本發明公開了一種高吸收、寬光譜黑硅復合材料及其制備方法。包括對硅襯底進行黑硅化處理，得到黑硅，所述黑硅表面具有尖錐陣列；向黑硅表面濺射沉積TiN納米顆粒。本發明利用“黑硅化”在傳統硅表面形成均勻、大面積尖錐狀黑硅結構；再利用“黑硅表面沉積TiN納米顆?！?，使得黑硅表面微結構更加復雜，增加了光在黑硅尖錐間的反射次數，材料吸收率獲得提升；同時通過磁控濺射，在尖錐狀黑硅表面沉積TiN納米顆粒，利用等離激元共振效應實現可見到紅外波段光譜的拓寬。
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    復合材料
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