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    復合材料的微機電裝置與其制作方法

    890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:39:02
    本發明提供了一種復合材料的微機電裝置及其制作方法。該微機電裝置包括一振動單元、一第一材料以及一第二材料。振動單元用以沿一第一軸向來回振動，其中振動單元包括一剛性元件。剛性元件包括一第一表面、一第二表面以及連接第一表面與第二表面的一第三表面，其中第一表面面向第一軸向的一第一方向，第二表面面向第一軸向相反于第一方向的一第二方向。第一材料設置于第一表面與第二表面上。第二材料為導電材料且設置于第一材料上并延伸至剛性元件，使第二材料電性連接到剛性元件。
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    復合材料
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