本發明公開了一種原位自生碳納米管改性硅碳氮陶瓷基復合材料的制備方法,用于解決現有CVD/CVI方法中CNTs和SiCN陶瓷基體不能同步生成的技術問題。技術方案是采用化學氣相沉積/化學氣相滲透工藝,分別以SiCl4、SiHCl3或CH3SiCl3作硅源,CH4或C3H6作碳源,NH3作氮源,H2作鼓泡載氣和還原氣體,Ar作稀釋氣體,通過添加Fe(NO3)3·9H2O、Co(NO3)2·6H2O或Ni(NO3)2·6H2O等金屬鹽催化劑,利用由金屬鹽還原產生的Fe、Co、Ni納米顆粒捕獲Si-C-N體系中存在的大量游離態碳原子,進而達到了在基底材料上同步合成CNTs和SiCN陶瓷基體的目的。
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