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    高介電常數的復合材料及其應用

    989   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 16:41:04
    本發明涉及一種高介電常數的復合材料以及以該材料為介電層的有機薄膜晶體管的制備方法。通過溶膠?凝膠法,讓含端基的硅烷偶聯劑在催化劑作用下水解形成含功能端基的硅溶膠,再與有機聚合物交聯形成復合溶膠,作為有機薄膜晶體管介電層的材料。再用旋涂、浸涂、噴墨打印、3D打印等溶液法形成薄膜,經固化后形成介電層;然后再分別制備半導體層、電極層,制得有機薄膜晶體管器件。本發明中基于復合介電材料的有機薄膜晶體管其遷移率達5cm2/V·s,遠超以SiO2為介電層的遷移率,并具有低閾值電壓,無遲滯效應等特點。相對于SiO2熱氧化等傳統制備工藝,該方法具有工藝簡單、成本低、可大面積制備等優點,具有很好的市場應用價值。
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