本實用新型涉及等離子輔助制備高導電石墨烯金屬復合材料的裝置。所述裝置包括:等離子體輔助分解腔室,連通有進樣室和熱壓腔室,且位于進樣室和熱壓腔室之間;進樣室設置有進樣機構,等離子體輔助分解腔室設置有等離子體發生器和第一加熱機構,熱壓腔室設置有熱壓機構和第二加熱機構;及用于向進樣室、等離子體輔助分解腔室和熱壓腔室通入氣態碳源和輔助氣體的氣路機構。等離子體發生器能夠加快生長碳源分子之間的碰撞頻率,加速裂解、吸附和成核,進而降低石墨烯生長所需要的溫度,加快石墨烯生長的速度,大量快速分解的含碳中間體快速吸附在金屬基材表面,利于多層成核和生長,從而增加石墨烯生長層數,并降低能耗,提高產能。
聲明:
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