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    復合材料及使用該材料的靜電卡盤的制造方法

    952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:43:03
    本發明在陶瓷材料與金屬材料使用類似粘結薄膜的黏著材料時，提供能夠更好進行連接作業的復合材料的制造方法及靜電卡盤的制造方法和黏著材料。覆蓋膜25及基膜27，具有水溶性，黏著劑23，具有不溶于水（或者難溶于水）的性質。因此，陶瓷側部材31制造時，保持真空吸著臺29黏著膜21的覆蓋膜25，去除溶解于水，使第1黏著劑層23a的基膜27，去除溶于水，使第2主面A可以露出。
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    復合材料
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