本發明涉及坩堝制備技術領域,公開了一種碳/碳/碳化硅復合材料坩堝的制備方法,包括如下步驟:A)將碳纖維平紋布、碳纖維網胎依次交替疊加在芯模上,當達到預定厚度時,通過針刺縫合工藝制成坩堝預制體;B)以丙烯為碳源氣體,以氬氣為載氣,采用化學氣相沉積工藝在預制體上進行沉積增密,再進行重復的浸漬?高溫裂解操作,制備成預定密度的坩堝坯體;C)對坩堝坯體進行機械加工,制成坩堝制品;D)對坩堝制品進行氣相滲硅,以形成致密的碳化硅涂層,制備成得坩堝成品。該方法充分利用了每種工藝填充預制體內部孔隙的優點,而且使坩堝制品的表面形成致密的碳化硅涂層,能夠有效抑制氧化侵蝕,大幅度提高了坩堝的使用壽命。
聲明:
“碳/碳/碳化硅復合材料坩堝的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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