本發明公開了一種多元混合涂層用高強韌鋁基復合靶材及其制備方法,靶材結構包括鋁基復合材料以及鋁制背板,鋁基復合材料包括基體鋁粉和均勻分布于基體鋁粉中的顆粒狀的二硼化鉻、鉻和鎢粉;鋁基復合材料成分組成按質量百分比計包括:二硼化鉻10%~20%,鉻30%~40%,鎢1%~10%,余量為鋁。采用本發明,可大幅降低鋁基復合材料的制備溫度,有效避免了脆性金屬間化合物的生成,保證了鋁基復合材料的高強韌性和高熱導率,可顯著提高鍍膜質量。同時,鋁基復合材料及鋁制背板復合結構可進一步提高靶材的塑性和導熱特性,顯著提升多元混合涂層用靶材的鍍膜性能和使用壽命。
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