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    采用陶瓷金屬管殼軸向燒結的壓力敏感器件

    988   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:52:15
    一種采用陶瓷金屬管殼軸向燒結的壓力敏感器件，它涉及一種壓力敏感器件。本發明要解決現有的壓力敏感器件軸向尺寸大和徑向尺寸大的問題。本發明器件包括引線、管座、陶瓷絕緣材料、多層復合材料、硼硅玻璃基座、玻璃-金屬復合材料、金屬電極、芯片和密封環；硼硅玻璃基座的上表面與芯片的下表面通過靜電連接成密封結構；使用軸向低溫燒結的方法，將硼硅玻璃基座的下表面與陶瓷絕緣材料的上表面通過多層復合材料燒結成一體，多層復合材料為圓片結構，硼硅玻璃基座的下表面為正方形，多層復合材料的直徑大于等于硼硅玻璃基座下表面的正方形的對角線。本發明用在壓力敏感器件領域。
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