本發明公開了一種柔性壓力傳感器及其制備方法,涉及傳感器技術領域。柔性壓力傳感器包括上柔性保護膜、上電極、柔性微孔/微結構傳感基片、下電極和下柔性保護膜;柔性微孔/微結構傳感基片的表面具有微結構陣列且內部具有微孔結構,其被夾在上電極與下電極之間。柔性壓力傳感器的制備包括下述步驟:制備導電高分子復合材料;制備具有表面微結構的柔性復合材料薄片;將具有表面微結構的柔性復合材料薄片進行超臨界流體發泡,制備柔性微孔/微結構薄片;制備柔性微孔/微結構傳感基片;將柔性微孔/微結構傳感基片與電極和柔性保護膜一起層疊封裝成柔性壓力傳感器。本發明制備的柔性壓力傳感器兼具高靈敏度和寬檢測范圍。
聲明:
“柔性壓力傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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