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    石墨烯的化學圖形化方法

    885   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:00:09
    本發明公開了一種石墨烯的化學圖形化方法,包括以下步驟:1)在石墨烯表面涂抹光阻材料;2)將步驟1)得到的光阻材料-石墨烯復合材料曝光顯影,得到需要的圖形;3)將步驟2)得到的曝光顯影后的光阻材料-石墨烯復合材料送入反應裝置,將顯影暴露的石墨烯轉變為石墨烷;4)去除步驟3)得到的復合材料上的光阻材料,得到圖形化的石墨烯。本發明將需要圖形化的石墨烯部分進行保留,而將不需要的部分變成石墨烷,由于石墨烷不導電,所以不會影響石墨烯的導電性能,這樣既保證了石墨烯的功能性圖形化得以實現,同時也保留了石墨烯加工的可逆性。本發明能夠做到大規模、高效率的對石墨烯進行圖形化。
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