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    柔性聲表面波氣體傳感器及其制備方法

    715   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:00:10
    本發明涉及一種柔性聲表面波氣體傳感器,屬于傳感器技術領域。本發明的柔性聲表面波氣體傳感器,通過高壓電系數的壓電陶瓷與具有室溫氣敏特性的柔性介電氣敏聚合物的復合,在機電耦合的過程中實現氣體探測和信號換能輸出的協同進行。通過壓電陶瓷?介電氣敏聚合物復合材料的構筑,充分地發揮并融合兩者的優勢與特點,使得氣體探測與壓電換能同時同地進行,從而簡化了器件結構,實現了氣體探測與壓電換能的結構與功能耦合。此外,由于氣體反應將影響復合材料的聲阻抗,復合材料的諧振頻率也將隨之變化,從而引起叉指換能器檢測聲表面波頻率或者相位的變化,進而可以推算出外界氣氛的濃度,實現了氣體的高靈敏度及穩定探測。
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