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    具有含金剛石顆粒的反應燒結碳化硅的陶瓷襯底

    1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:00:10
    本公開涉及一種復合材料，該復合材料可以包括第一反應燒結碳化硅(第一RB?SiC)材料的襯底以及結合至該襯底的表面的反應燒結含金剛石碳化硅(RB?DSiC)層。在一些方面，RB?DSiC層包括與第二反應燒結碳化硅(第二RB?SiC)材料結合的金剛石顆粒。金剛石顆?？梢跃鶆虻胤植荚谡麄€第二RB?SiC中或僅分布在第二RB?SiC的表面處。金剛石顆?？梢猿视行驁D案或無序圖案。例如，CMP修整盤可以包括根據實施方式中的一個實施方式的復合材料。
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