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    化學氣相沉積爐爐蓋

    825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:02:47
    本實用新型公開了一種化學氣相沉積爐爐蓋，包括水冷鋼外殼，水冷鋼外殼上端設置有排氣管，水冷鋼外殼下端外側設置有側板，側板內填充保溫棉；水冷鋼外殼底部放置有底板，水冷鋼外殼下部穿過保溫棉和底板焊接有連接桿，連接桿通過螺母擰緊在壓緊底板底部。本實用新型通過碳/碳復合材料板材作為化學氣相沉積爐爐蓋底板，由于碳/碳復合材料具有低密度、高強度、耐高溫、耐腐蝕氣氛等優點，有效解決了傳統化學氣相沉積爐爐蓋長期使用后底板碳化，變形，焊縫開裂、掉落的問題，而且隨著使用時間的增加，碳/碳復合材料底板密度增加，強度也隨之提高。
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    聲明：
    “化學氣相沉積爐爐蓋” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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