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    相變材料的制備方法

    1140   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:04:14
    一種相變材料的制備方法,包括:提供半導體襯底,在所述半導體襯底上形成非晶Si-SbxTe1-x材料層,其中0.1≤x≤0.9;在所述Si-SbxTe1-x復合材料的結晶溫度之上,對所述Si-SbxTe1-x執行第一次退火工藝,使得其中的非晶Si和SbxTe1-x晶體形成分相;將退火后分相的非晶Si與SbxTe1-x的復合材料置于氫氣氛中執行第二次退火工藝,使其中的非晶Si轉變為微晶Si以形成微晶Si-SbxTe1-x復合相變材料;對所述微晶Si-SbxTe1-x復合相變材料執行加熱退火脫氫工藝。相較于現有技術,本發明制備的是微晶Si-SbxTe1-x復合相變材料,微晶態的Si晶粒尺寸在3納米至20納米左右,缺陷比非晶態Si少,能有效抑制氧化,阻礙Si與SbxTe1-x的相互擴散,具有更穩定的特性。
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