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    自支撐薄膜類透射電鏡樣品及其制備方法

    956   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:05:11
    本發明涉及透射電子顯微鏡樣品制備技術領域，具體為一種自支撐薄膜類透射電鏡樣品及其制備方法。該薄膜類材料包括：利用物理和化學氣相沉積方法，例如磁控濺射沉積技術制備的自支撐金屬材料、非金屬材料、復合材料等。該方法包括：利用超薄的自支撐碳納米管薄膜作為基體，經過酒精處理后，使得原本蓬松的CNTs薄膜收縮，然后利用磁控濺射沉積技術制備所需材料薄膜(如前所述的金屬、非金屬、復合材料等)，這層材料與采用傳統基底生長出來的薄膜的顯微結構和成分一致。最后將制備所得的材料直接進行離子減薄，獲得適合于透射電鏡觀察的樣品。該方法不僅工序簡單，還能提高實驗人員的效率和成功率，是一種非常簡單卻也行之有效的方法。
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