本申請屬于傳感器技術領域,提供了一種薄膜壓力傳感器及其制備方法,薄膜壓力傳感器包括功能薄膜和電極組,電極組與功能薄膜接觸,功能薄膜為功能復合材料層,功能復合材料層包括導電性填料和樹脂基體,導電性填料填充于樹脂基體中,或者功能薄膜為多層結構,多層結構包括基底、設于基底上的高導電性層以及形成于高導電性層上的高電阻材料層,高電阻材料層包括導電性填料和樹脂基體,導電性填料填充于樹脂基體中,功能薄膜的表面設有依序排列的凸起結構,通過采用具有高硬度、高耐磨特點的基體樹脂構成導電性的功能薄膜,解決了目前電阻傳感器存在的線性度和量程低、一致性低等問題。
聲明:
“薄膜壓力傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)