本發明涉及一種太陽能多晶硅生產過程中尾氣回收液相二氧化硅提純方法。其特征在于該方法步驟如下:a)將回收液相二氧化硅首先進行加熱減量的排除,b)再次進行灼燒減量的排除,c)酸堿處理,d)球磨處理,球磨完畢后制得二氧化硅的質量指標:二氧化硅質量百分含量99.5~99.99%,平均粒徑1~100nm,比表面積100~200m2/g,pH值3~6,得到合格的二氧化硅產品。該方法的優點是充分利用液相二氧化硅,生產高純度的二氧化硅應用于高分子復合材料、橡膠、塑料、涂料、油漆、密封膠、電子封裝、陶瓷等諸多行業,提高了經濟效益。減少了對原材料浪費,對環境的污染,本發明的方法可廣泛應用于多晶硅生產企業。
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