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    具有雙敏感層結構的平面式甲烷氣體傳感器及其制造方法

    917   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:05:14
    具有雙敏感層結構的平面式甲烷氣體傳感器及其制造方法屬于氣體傳感器技術領域?，F有甲烷氣體傳感器難以同時具備高選擇性、高靈敏度、快響應恢復和長期穩定性。本發明之甲烷氣體傳感器甲烷氣體敏感層包括納米纖維敏感層和粒子涂層敏感層，納米纖維敏感層位于信號電極與粒子涂層敏感層之間；納米纖維敏感層氣敏材料為摻In和Pd的SnO2，In和Pd的摻入量各占In2O3、PdO、SnO2三種氧化物總質量的5～7％，粒子涂層敏感層氣敏材料為Co3O4-WO3復合材料。本發明之甲烷氣體傳感器制造方法在信號電極一側先制作摻In和Pd的SnO2納米纖維敏感層，再在所述納米纖維敏感層上制作Co3O4-WO3復合材料粒子涂層敏感層，得到整片傳感器，經切割獲得1×1mm2至10×10mm2的單片傳感器。該傳感器四項性能俱佳。
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