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    碳化硅晶體生長爐的高壽命保溫系統

    904   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:07:00
    本發明涉及一種碳化硅晶體生長爐的高壽命保溫系統,在軟/硬氈復合保溫的基礎上,創新性的選用C/C復合材料作為最內層保溫材料,利用其力學特性隨溫度升高而增大、線膨脹系數小、耐燒蝕性能優異、損傷容限高、高溫下不發生粘接的優良特性,采用厚0.5mm的圓筒,上下端進行切斷處理,每周兩個斷口,斷口寬度1~1.5mm),避免了閉合回路的形成,由于C/C復合材料極小的線膨脹系數,在高溫下斷口無法閉合,實現了對交變磁場穿透的低阻礙。充分降低熱腐蝕、熱沖擊、化學腐蝕等對其外側各層保溫的傷害,提高保溫整體壽命與穩定性,可將保溫系統穩定期由先前的800小時提高到1500小時以上,且只需更換最內層保溫軟氈即可恢復穩定狀態,整體壽命延長1倍以上。
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