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    基于多孔襯底的電阻式NO2氣體傳感器及其制備方法

    1127   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:10:23
    本發明公開了一種基于多孔襯底的電阻式NO2氣體傳感器，包括襯底，襯底上噴涂有氣敏材料，氣敏材料為RGO?SnO2復合材料；襯底以硅片作為基片，基片上表面經過刻蝕形成具有微孔陣列的凹凸面；基片的上表面及下表面均熱氧化生長有SiO2絕緣層；氣敏材料均勻噴涂在所述基片上表面的SiO2絕緣層上形成氣敏薄膜。還公開了該傳感器的制備方法 : 制備RGO?SnO2復合材料溶液作為氣敏材料；制備襯底：選取硅片作為基片，在其上表面進行刻蝕，形成具有微孔陣列的凹凸面，然后在基片的上、下表面均熱氧化生成SiO2絕緣層，清洗吹干后得到襯底；將氣敏材料噴涂到襯底上表面的SiO2絕緣層上，形成氣敏薄膜。該傳感器能在常溫下工作，增強對低濃度NO2的響應性能。該制備方法步驟簡單、成本較低。
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    “基于多孔襯底的電阻式NO2氣體傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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