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    碳/碳多晶硅鑄錠爐整體式加熱器的制備方法

    1026   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:10:24
    本發明公開了一種碳/碳多晶硅鑄錠爐整體式加熱器的制備方法。該方法是將已涂刷樹脂的炭布或針刺炭氈一層層纏繞于鋼模芯上制成預制體;經加壓固化、炭化和化學氣相沉積增密處理,使加熱器制品密度達到≥1.50g/cm3;通過機械加工使之達到客戶要求的形狀和尺寸;最后經過CVD碳化硅防護層和高溫純化處理制得碳/碳復合材料多晶硅鑄錠爐整體式加熱器。本發明比現有的碳素材料加熱器的原材料消耗降低90%以上;產品表面有CVD表面沉積碳化硅防護層,阻隔了硅蒸汽和氧等對產品的侵蝕,使用壽命延長至少一倍以上。
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