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    輕質高剛度XY工作臺及鍵合頭

    688   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:11:17
    本發明輕質高剛度XY工作臺及鍵合頭提供了一種適用于金屬引線鍵合機的二維工作臺及鍵合頭的組合的結構。該結構的二維工作臺采用由線性電機驅動的縱橫向直線導軌及滑塊和豎向垂直上下弧形擺動結構,由橫縱方向相互垂直的滑塊、導軌和縱向軸間解耦機構及各自的驅動電機組成。鍵合頭采用繞軸擺臂擺動,使擺臂的末端產生縱橫和垂直上下弧形綜合運動。由于線性電機的直接驅動方式消除了機械誤差,改善了系統的動態特性。采用特殊高比剛度鋁基碳化硅復合材料加工運動件來達到輕質高剛度的結構。本發明也適于其它具有與引線鍵合機相似工藝要求的半導體生產設備以及有高速精密三維定位和操作需要的機電設備。
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