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    紫外微圖形化氧化物薄膜的制備方法及薄膜晶體管

    835   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:12:17
    一種紫外微圖形化氧化物薄膜的制備方法及薄膜晶體管，氧化物薄膜的制備方法包括如下步驟，將氧化物前驅體溶液通過非真空法在基底上形成氧化物前驅體薄膜,用紫外光通過具有圖形的掩膜板對氧化物前驅體薄膜進行曝光，氧化物前驅體薄膜受紫外光照射的部分化學性質發生變化，未照射部分化學性質不變,再經顯影液浸泡顯影實現圖形化；其中，前驅體溶液和顯影液中所使用的溶劑均為水且不含其它有機添加劑。氧化物薄膜呈半導體、絕緣體或者導體性質。本發明能實現氧化物薄膜的有效圖形化，工藝簡單，對膜層無污染，圖形化過程能有效減少膜層中所含雜質，且能實現低溫制備高質量氧化物或復合材料薄膜。所制備薄膜晶體管性能良好，工藝簡單，適用范圍廣。
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