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    成膜裝置、膜的制造方法和程序

    1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:13:38
    本發明的成膜裝置利用在等離子體流中元素比進行隨時間變動的現象，控制復合膜的組成比。該成膜裝置使用混合有多種原料的復合材料，使包含所述多種原料中的多種元素的膜成膜于對象物，該成膜裝置具有：放電部，其對復合材料產生電弧放電，使多種元素處于等離子體狀態，使其放出；和控制部，其根據朝向對象物的等離子體流中存在的多種元素的組成比，控制到達對象物的等離子體流的量。
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