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    基于聚合物襯底的單片集成溫濕壓柔性傳感器及制備方法

    940   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:14:54
    本發明提供了一種基于聚合物襯底的單片集成溫濕壓柔性傳感器及制備方法，包括：柔性基底，所述柔性基底上設有壓力傳感器、溫度傳感器以及濕度傳感器，其中：所述壓力傳感器是導電填料填充PDMS復合材料作為壓敏介質的壓力傳感器，所述溫度傳感器是由對溫度敏感的金屬電阻形成的溫度傳感器，所述濕度傳感器為聚酰亞胺濕度傳感器。本發明導電填料填充PDMS復合材料具有良好的導電性能和機械性能，并具有壓阻特性；金屬電阻溫度傳感器測量精度高、重復性好、可靠性高；聚酰亞胺濕度傳感器其耐熱、力學、介電性能好，因而本發明能夠實現低成本、制備工藝簡單、重量輕、可陣列化和可以使用在彎曲表面等要求，實現產業化應用。
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