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    氯硅烷體系微量硼、磷雜質的吸附方法

    746   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:14:55
    一種氯硅烷體系微量硼、磷雜質的吸附方法,包括以下步驟:一種由固體吸附材料負載離子液體的復合材料,是將固體吸附材料作為支撐載體,將其與離子液體或者有機溶劑按比例混合均勻,進行研磨;所得混合物進行真空加熱干燥,得到以多孔材料為支撐載體的復合材料;所得復合吸附材料填充于吸附柱中,在高純氮氣下,將一定溫度、壓力的氯硅烷通入吸附柱;吸附柱出口收集處理后的氯硅烷,得到提純后的氯硅烷;復合吸附材料在一定溫度、壓力下進行氣體吹掃,進行脫附回收。本發明的硼、磷微量雜質吸附劑實現了氯硅烷體系中存在的微量硼、磷雜質的高效吸附;不經過高溫處理,能耗低,工藝簡單;吸附劑循環利用,生產過程中廢物排放少,避免了環境污染。
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