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    復合固支梁及其制備方法

    865   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:18:52
    一種復合固支梁及其制備方法，屬于微機電系統技術領域。本發明提出了一種基于“金?石墨烯?金”三層復合材料形成的固支梁結構。本發明復合固支梁的制作工藝簡單、成本低廉、操作可控性強，且兼具易于與CMOS電路集成的優勢；運用本發明復合固支梁作為微機電系統開關，由于其相比石墨烯梁具有較小的楊氏模量和彈性系數，因而能夠降低開關的驅動電壓；同時，由于其相比傳統金屬梁具有高機械強度，因此能夠解決其作為開關的可靠性問題，進而有利于其作為MEMS開關的商業化發展。
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    復合材料
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