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    由金屬、硬質金屬、金屬陶瓷或陶瓷組成并用硬質材料涂覆的物體和用于制造這種物體的方法

    830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:18:52
    本發明涉及硬質材料涂覆的物體及用于制造該物體的方法，物體由金屬、硬質金屬、金屬陶瓷或陶瓷制成。根據本發明的硬質材料層例如可用作切削工具的防磨損層、渦輪葉片的保護層或微電子器件中的擴散阻擋層。本發明的目的是提供具有高水平硬度、抗氧化性和優異耐磨性的硬質材料層。該目的包括提供一種用于制造這種硬質材料層的成本有利的方法。該目的通過硬質材料涂覆的物體和用于制造這種物體的方法實現，物體由金屬、硬質金屬、金屬陶瓷或陶瓷制成并利用無等離子體激發的熱CVD工藝涂覆有單層或多層的層體系，該層體系包含至少一個納米復合材料層，納米復合材料層具有由立方碳氮氧化鈦組成的第一納米晶相和由碳氮氧化硅或碳氧化硅組成的第二非晶相。
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