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    有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法

    849   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:20:39
    本發明屬于集成光學器件制備技術領域,具體為一種有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法。本發明包括采用溶膠-凝膠法分別配制折射率較低的和較高的有機無機復合材料溶液,然后分別用旋涂甩膜法制備襯底層和有源層,再用紫外光刻法將掩模板上的微腔圖形轉移到有源層上,刻蝕出微腔,最后制備覆蓋層。本發明適合用于制備多功能、高性能的集成光學傳感芯片。本方法工藝簡單,成本低,制備的有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器達到有機類微腔的最好水平。
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    “有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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