本實用新型涉及粉體納米復合材料制備裝置,具體為一種納米粒子制備及與粉體材料原位復合裝置,實現納米粒子的制備,以及納米粒子與粉體材料的原位復合,普遍適用于制備各種粉體納米復合材料。該裝置包括納米顆粒制備系統、納米顆粒/粉體材料復合系統及進樣/取樣系統,納米顆粒制備系統設有真空室、離子源、轉靶,離子源一端伸入真空室內,轉靶設置于真空室內、與離子源的濺射方向相對應,離子源另一端連有離子源電源和高純氬氣體鋼瓶;復合系統設有反彈盤,反彈盤設置于真空室內的下方,與轉靶反射的方向相對應;進樣/取樣系統設有手套操作箱,真空室一側的密封艙門伸到手套操作箱中,手套操作箱上連有機械泵、循環凈化系統和高純惰性氣體鋼瓶。
聲明:
“納米粒子制備及與粉體材料原位復合裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)