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    氣相沉積爐底部加熱裝置

    1103   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:23:09
    本實用新型是一種氣相沉積爐底部加熱裝置,它包括開設在氣相沉積爐的爐底上并且上端開口的凹槽,在該凹槽內安裝有石墨加熱器;凹槽的上開口端安裝有用于從上方覆蓋石墨加熱器的碳碳復合材料板,該碳碳復合材料板上開設有若干個均布的散熱通孔。實現了對爐腔的側向加熱和底部加熱,爐腔內升溫更快,并更快達到爐內溫度分布均勻一致。
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    “氣相沉積爐底部加熱裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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