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    場發射電子源器件

    1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:23:12
    一種場發射電子源器件,它有封入真空容器內的場發射電子源和陽極,場發射電子源包括基片上的陰極、柵極及其間層結構,其特征是引出柵極電極的厚金屬膜與陰極之間為絕緣層,而與厚金屬膜相連的、具有大量微孔的薄金屬膜與陰極之間為復合體層。上述的間層結構指位于陰極與柵極之間的絕緣層、半導體層、復合體層。上述的薄金屬膜指厚度在50納米以內、具有大量微孔的金屬膜。其制備方法是利用微電子工藝在硅、玻璃等基板上的陰極上制備有復合材料層薄膜,再在上述的復合材料薄膜表面上有薄金屬膜柵極,將上述器件與陽極密封在真空容器內而成。本實用新型工藝簡單,結構合理,具有驅動電壓低、發射電流密度高、電子束發散小,發射率高等優點。
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