本發明涉及一種雙流體噴射系統。它包括氣動模塊、液動模塊、控制模塊、雙流體噴射閥,控制模塊通過氣動模塊和液動模塊分別連接控制雙流體噴射閥的氣管和液管。所述雙流體噴射系統基于微通道氣液兩相流運動原理,即通過控制模塊控制氣動模塊和液動模塊中氣液流速比或流量比使得微通道中出現段塞流的液體噴射。本發明適用于半導體薄膜制備、復合材料制備、電子封裝、MEMS系統、噴涂、噴墨、粉末冶金、生物醫藥、食品加工、焊接、燃燒、化工等領域的流體噴射。
聲明:
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