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    多功能的基片磨拋裝置及其磨拋方法

    850   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:32:06
    本發明一種多功能的基片磨拋裝置及其磨拋方法，屬于平面基片的超精密加工技術領域，涉及一種用于硅片、藍寶石基片和玻璃基板等硬脆材料的磨拋平整化加工及減薄加工，可用于陶瓷、金屬和復合材料等平面薄板的磨削和拋光加工?；伔椒ú捎萌N方式：軸向切入式磨拋、徑向切入式磨削和留邊磨拋方法。磨拋裝置采用由磨削主軸單元和拋光主軸單元組成的雙主軸結構，在一臺裝置上完成基片的磨削和拋光加工；磨削主軸單元和拋光主軸單元通過一根牽引繩牽引，互為配重。磨拋裝置將磨削機和拋光機集成于一體，基片只需一次性裝夾，即可完成磨削和拋光兩道工序加工，提高基片磨拋加工精度和磨拋加工自動化，降低碎片率，提高了生產效率。
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