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    加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列的方法與裝置

    1115   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:43:34
    加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列裝置,包括激光發生器、真空腔、載物臺、紫外濾光鏡和氣體流量控制單元;載物臺以可拆卸固定的方式安裝于真空腔內的底部,真空腔具有開啟和密閉的通道;紫外濾光鏡安裝于真空腔,激光發生器發射激光透過紫外濾光鏡照射到位于真空腔中的載物臺,載物臺用于放置待加工物;氣體流量控制單元連通于真空腔,氣體流量控制單元用于控制進入到真空腔中的氣體;真空腔通過真空腔夾具固定安裝于三軸精密運動平臺。針對當前難以加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合材料微結構陣列的問題,本發明的目的在于提出一種加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列裝置。
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