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    鎢合金涂層制備設備及方法

    1169   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:44:07
    本發明提供了鎢合金涂層制備設備及方法，涉及表面工程技術領域。涉及鎢合金涂層制備設備，包括設置在加熱爐內的反應器，反應器通過排氣管路連通尾氣處理裝置，反應器通過輸氣管路分別連通氫氣、氬氣、六羰基鎢和六羰基鉬，氬氣與六羰基鎢和六羰基鉬連通。還提供鎢合金涂層制備方法，包括采用常壓化學氣相沉積方法制備金屬鎢合金涂層，沉積所用的先驅體為六羰基鎢和六羰基鉬，在低溫下進行分解反應實現鎢涂層的制備，其反應方程式為W(CO)6→W+6CO，Mo(CO)6→Mo+6CO。采用本發明的技術方案，能夠提高C/C復合材料、石墨、鋼、鈦等材料的抗高溫燃氣氧化沖刷的能力，抗腐蝕介質侵蝕能力，延長服役時間。
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